旋片真空泵的真空度不达标，可由外漏，内漏，油孔梗塞，泵油质量不良或净化蜕变，有水汽等可凝性物质，仪器仪表失真，泵运转不正常等引起。
外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽，我们常称为冒烟。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力，低级排气阀处油面有较多气泡，功率会有所添加，这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏景象，应对泵口及管道，阀门，容器逐一检查。外轴封无效，油标无油，油孔闷头漏气也可形成外漏。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对泵有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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